第二代

隊友加入攜手解難 - 有傳 ASML 第二代 EUV 光刻機開發遇瓶頸,東京電子加入提供顯影技術支援

生產先進製程的晶圓片,EUV 光刻機是關鍵之一。而荷蘭 ASML 是全球唯一量產 EUV 光刻機的廠商,台積電、Samsung、Intel 的先進製程晶片都以其 EUV 曝光機生產。目前每部第一代的 EUV 光刻機的價格近 1.5 億美元,而第二代的產品亦已在開發階段。 不過有傳第二代 EUV 光刻機 NXE:5000 研發階段遇到瓶頸,原預計最快 2023 年問世,現在則可能要到 2025 - 2026 年,延後近 3 年,業界憂慮將影響半導體製程開發。而近日日本最大半導體鍍膜蝕