摩爾定律不死 !! Intel 衝擊 1nm 製程,並會採用新一代 EUV 光刻機

- 軒仔 - 2023-02-12

作為摩爾定律的提出者,Intel 也可說是最堅定的摩爾定律捍衛者,多次表示半導體製程還會繼續提升下去。於現有 4 年掌握 5 代 CPU 製程後,Intel 還啟動了未來兩代的 CPU 製程研發,目標已逼近 1 nm 製程了。

Intel 的 5 代 CPU 製程分別是:Intel 7、Intel 4、Intel 3、Intel 20A 及 Intel 18A。當中 Intel 7 已於 2021 年的第 12 代 Core 處理器上首發,Intel 4 則會於今年下半年的第 14 代 Core 處理器上首發,另外還會首次採用 EUV 極紫外光微影。

Intel 3 為 Intel 4 的升級版,Intel 20A 及之後的 18A 則是重大升級,相當於競爭對手的 2nm、1.8nm 製程,計劃於 2024 年上半年及下半年量產,2025 年將重新奪回半導體製程的領導地位。

再之後 Intel 的規劃藍圖上則尚未提及新的製程,不過最新消息指,Intel 已經啟動了未來兩代製程的定義及研發,但未有明確的資訊。據 IMEC 之前公布的晶片製程規劃藍圖來看,2nm 製程之後是 14A,亦即 1.4 nm 製程,預計 2026 年推出,再往後就是 A10 製程,亦即 1 nm,2028 年推出。

Intel 要研發的未來兩代製程應該亦為 1.4 nm、1 nm 等級的,具體的命名仍要等官方確定,畢竟時間尚早。2 nm 之後的製程還要升級生產設備,目前的 EUV 光刻機屆時效率亦不高了,ASML 預計會於 2026 年推出 High NA 技術的下一代 EUV 光刻機 EXE:5000 系列,將 NA 指標從目前的 0.33 提升至 0.55,進一步提升微影解像度。

不過下一代 EUV 光刻機的成本亦會大漲,目前售價約 1.5 億美元左右,價格預期超過 4 億美元。