對於晶片廠商而言，光刻機是尤其重要的生產工具，而 ASML 也在積極佈局新的技術。據外媒報導指，截至 2022 Q1，ASML 已出貨 136 個 EUV 系統。
按照官方資料，新型號 NXE:3600D EUV 光刻機系統，可達到 93% 的可用性。而數據顯示，NXE:3600D 每小時可生產 160 個晶圓 (wph)，速度為 30mJ/cm，，而正在開發的下一代 NXE:3800E 系統最初將以 30mJ/cm 的速度提供超過 195 wph 的產能，而在吞吐量升級後達到了 220wph。
按早前 ASML 的說法，其研發的新款光刻機，價值高達 4 億美元 (約 31 億元港幣)，尺寸足足有一台雙層巴士之大、重逾 200 噸。原型機預計 2023 年上半年完工，2025 年首次投入使用，2026 至 2030 年主力出貨。
至於這款新一代機器估計是指 High-NA EXE:5200 (0.55NA)，而 Intel 則是全球第一個下單的公司。所謂 High-NA 也就是高數值孔徑，2nm 後的節點都需依賴它來實現。
