ASML

荷蘭半導體設備巨頭 ASML 近期於亞洲動作頻繁，相繼在台灣和南韓設廠。有韓國媒體報導，指 ASML 的於台灣投資金額是南韓五倍之多，而南韓政府和企業亦相繼向其推銷望加碼投資。 韓媒在報導中指，三星電子會長李在鎔與 SK Hynix 會長崔泰源陪同南韓總統尹錫悅，與荷蘭總理 Mark Rutte 及 ASML CEO,Peter Wennink 進行敘會。據南韓總統府辦公室表示尹錫悅呼籲 ASML 額外投資南韓。而其表示 ASML 已決定在南韓建立維修和工程師訓練中心，若增建生產工

對於晶片廠商而言，光刻機是尤其重要的生產工具，而 ASML 也在積極佈局新的技術。據外媒報導指，截至 2022 Q1，ASML 已出貨 136 個 EUV 系統。 按照官方資料，新型號 NXE:3600D EUV 光刻機系統，可達到 93% 的可用性。而數據顯示，NXE:3600D 每小時可生產 160 個晶圓 (wph)，速度為 30mJ/cm，，而正在開發的下一代 NXE:3800E 系統最初將以 30mJ/cm 的速度提供超過 195 wph 的產能，而在吞吐量升級後達到了 220w

於半導體生產中，光刻機是核心設備，除了決定了晶片製造的製程水準，亦為耗時最多、成本最高的一步。目前先進的 7nm、5nm 及接下來的 3nm 製程皆需要 EUV 光刻機，即使一台要價不菲，仍是供不應求。 EUV 光刻機目前僅有荷蘭 ASML 可以生產，其產能將決定全球先進製程擴張的速度。日前，ASML 資深副總裁 Christophe Fouquet 於高盛會議上確認，將增加 EUV 光刻機的產能。 ASML 原本預計 2025 年的 EUV 光刻機年產能為 70 台，現在決

根據「彭博」的報導，光刻機巨頭 ASML 日前發出警告指中國企業「東方晶源微電子」正在銷售採用侵權技術的產品，呼籲客戶停止與這間公司的往來。 ASML 表示，2021 年發現東方晶源在大陸推銷其新產品，而該產品就是採用 2019 年 XTAL 侵權官司中，被確認竊取來自 ASML 的機密技術。東方晶源還獲得「國家級專精特新小巨人」企業稱號，可見是中國當局大力支持的半導體企業之一。ASML 目前已向北京提出控訴，指東方晶源盜用其技術生產晶片生產設備。 目前市場最先進的晶片光刻機

據外媒報導，中國的半導體企業已改為專注採用 DUV 曝光技術的生產技術發展，而主因是中國企業受制國際禁令，不能購入最先進的 EUV 光刻機。據「中國經濟日報」的消息指，因已確認 DUV 設備不受美國禁令影響，中國的半導體龍頭中芯國際已決定，將與光刻設備廠商 ASML 的合約延長至 2022 年，並增加 DUV 設備的進口。 EUV 光刻機主要可生產 10nm 或更先進製程，而 DUV 光刻機則用作生產現時的成熟製程所使用的，主要生產汽車電源管理晶片 (PMIC) 和微控制器 (