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一下子延期 3 年 !! ASML 第二代 EUV NXE:5000 光刻機推遲上市,售價料曝漲至 3 億美金

ASML 是全球唯一有量產 EUV 光刻機的生產商,而像是 7nm、5nm 甚至 3nm、1nm 等先進製程皆依賴 EUV 光刻機。目前 EUV 光刻機單台售價已逾 1 億美元,購買的成本高昂。 現時 ASML 市售的 EUV 機種還是第一代,EUV 波長約在 13.5nm,物鏡的 NA 值孔徑為 0.33,發展了一系列型號。第一代中,最早量產上市的為 NXE: 3400B,不過其生產晶圓效能僅為 125PWH,而現時出貨主力為 NXE: 3400C,產能提升至 135WPH,底還有會有 NX