EUV 光刻設備
先進製程需求下降,台積電考慮關閉部份 EUV 光刻設備節省電力開支
近日有消息指,台積電將會關閉部份 EUV 光刻機,以以節省電力。
來自半導體業界的爆料者表示,由於先進製程的產能利用率開始下降,且經過評估後的結論是下降趨勢將會持續一段時間,因此台積電計劃由年底起,關閉部分EUV 設備,以節省龐大的電力開支。
據悉,台積電擁有約 80 台 EUV 光刻機,用於生產 7nm、5nm 等先進製程晶片,接下來的 9 月更會用於 3nm 製程,。不過隨著 PC、手機、顯示卡等產品的需求下跌,先進製程的產能需求亦受到直接的影響。
相較以前的 DUV 光刻機,EU