EUV 光刻機

Q2 財報出爐 - ASML 積壓訂單高達 175 億歐元,第一台新款 NXE: 3600D EUV 光刻機已交付

來自荷蘭的半導體光刻機巨頭 ASML 剛剛公佈了 2021 年 Q2 的財務報表。在這個季度上,ASML 的淨銷售額為 40 億歐元,毛利率為 50.9%,淨收入為 10 億歐元,淨預訂額為 83 億歐元,當中 EUV 光刻機就佔了 49 億歐元,而總積壓訂單金額已高達 175 億歐元。 在財報中 ASML 更透露第一台最新款的 TWINSCAN NXE: 3600D EUV 光刻機已交付客戶,對比之前的 NXE:3400C 生產力提高了 15 - 20%,覆蓋率也提高約 30%。ASML

西方聯盟出口限制 - 美國成功促使荷蘭停止對華發售 ASML 光刻機

據外媒《華爾街日報》的報道,美國政府將延續了特朗普時期對華禁止出口高科技產品的策略。而近日與荷蘭政府聯繫,要求限制 ASML 生產的 EUV 光刻機出售給中國企業。即使受中國強大的壓力,最終荷蘭政府拒發出口許可。 在拜登就任初期,國家安全顧問 John Sullivan 已與荷蘭討論兩國的「先進技術的緊密合作」協議,並有美國官員指繼續限制 ASML 與中國的業務往來是 John 的首要任務。於 2019 年,美方邀請荷蘭外交人員到白宮時,提出「好的盟友不會把將這類先進設備賣往中國」

隊友加入攜手解難 - 有傳 ASML 第二代 EUV 光刻機開發遇瓶頸,東京電子加入提供顯影技術支援

生產先進製程的晶圓片,EUV 光刻機是關鍵之一。而荷蘭 ASML 是全球唯一量產 EUV 光刻機的廠商,台積電、Samsung、Intel 的先進製程晶片都以其 EUV 曝光機生產。目前每部第一代的 EUV 光刻機的價格近 1.5 億美元,而第二代的產品亦已在開發階段。 不過有傳第二代 EUV 光刻機 NXE:5000 研發階段遇到瓶頸,原預計最快 2023 年問世,現在則可能要到 2025 - 2026 年,延後近 3 年,業界憂慮將影響半導體製程開發。而近日日本最大半導體鍍膜蝕

一下子延期 3 年 !! ASML 第二代 EUV NXE:5000 光刻機推遲上市,售價料曝漲至 3 億美金

ASML 是全球唯一有量產 EUV 光刻機的生產商,而像是 7nm、5nm 甚至 3nm、1nm 等先進製程皆依賴 EUV 光刻機。目前 EUV 光刻機單台售價已逾 1 億美元,購買的成本高昂。 現時 ASML 市售的 EUV 機種還是第一代,EUV 波長約在 13.5nm,物鏡的 NA 值孔徑為 0.33,發展了一系列型號。第一代中,最早量產上市的為 NXE: 3400B,不過其生產晶圓效能僅為 125PWH,而現時出貨主力為 NXE: 3400C,產能提升至 135WPH,底還有會有 NX