EUV光刻機
領先同業 2 年? 三星擬繼續擴展 EUV 光刻生產的規模
繼早兩天 SK Hynix 宣佈在 M14 和建設中的 M16 工廠中引入 EUV 光刻機後,三星也要來跟上了。按照三星的說法,由 2014 年以來,採用 EUV 光刻的晶圓超過了400 萬片,公司已積累了豐富的經驗,亦比其它廠商掌握更多生產訣竅,領先對手約 1 到 2 年的差距。
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消息指三星的 1z nm DRAM 第三代記憶體已用上了一層 EUV,而第四代