3 億美金

ASML 是全球唯一有量產 EUV 光刻機的生產商，而像是 7nm、5nm 甚至 3nm、1nm 等先進製程皆依賴 EUV 光刻機。目前 EUV 光刻機單台售價已逾 1 億美元，購買的成本高昂。 現時 ASML 市售的 EUV 機種還是第一代，EUV 波長約在 13.5nm，物鏡的 NA 值孔徑為 0.33，發展了一系列型號。第一代中，最早量產上市的為 NXE: 3400B，不過其生產晶圓效能僅為 125PWH，而現時出貨主力為 NXE: 3400C，產能提升至 135WPH，底還有會有 NX